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超精密加工技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢(shì)
一、精密和超精密加工的概念與范疇
通常，按加工精度劃分，機(jī)械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個(gè)階段。目前，精密加工是指加工精度為1~0.1?;m，表面粗糙度為Ra0.1~0.01?;m的加工技術(shù)，但這個(gè)界限是隨著加工技術(shù)的進(jìn)步不斷變化的，今天的精密加工可能就是明天的一般加工。精密加工所要解決的問題，一是加工精度，包括形位公差、尺寸精度及表面狀況；二是加工效率，有些加工可以取得較好的加工精度，卻難以取得高的加工效率。精密加工包括微細(xì)加工和超微細(xì)加工、光整加工等加工技術(shù)。傳統(tǒng)的精密加工方法有砂帶磨削、精密切削、珩磨、精密研磨與拋光等。
1.1砂帶磨削
用粘有磨料的混紡布為磨具對(duì)工件進(jìn)行加工，屬于涂附磨具磨削加工的范疇，有生產(chǎn)率高、表面質(zhì)量好、使用范圍廣等特點(diǎn)。
1.2精密切割
也稱金剛石刀具切削(SPDT)，用高精密的機(jī)床和單晶金剛石刀具進(jìn)行切削加工，主要用于銅、鋁等不宜磨削加工的軟金屬的精密加工，如計(jì)算機(jī)用的磁鼓、磁盤及大功率激光用的金屬反光鏡等，比一般切削加工精度要高1~2個(gè)等級(jí)。
1.3珩磨
用油石砂條組成的珩磨頭，在一定壓力下沿工件表面往復(fù)運(yùn)動(dòng)，加工后的表面粗糙度可達(dá)Ra0.4~0.1?;m，最好可到Ra0.025?;m，主要用來(lái) 加工鑄鐵及鋼，不宜用來(lái)加工硬度小、韌性好的有色金屬。
1.4精密研磨與拋光
通過介于工件和工具間的磨料及加工液，工件及研具作相互機(jī)械摩擦，使工件達(dá)到所要求的尺寸與精度的加工方法。精密研磨與拋光對(duì)于金屬和非金屬工件都可以達(dá)到其他加工方法所不能達(dá)到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025?;m加工變質(zhì)層很小，表面質(zhì)量高，精密研磨的設(shè)備簡(jiǎn)單，主要用于平面、圓柱面、齒輪齒面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量規(guī)、量塊、噴油嘴、閥體與閥芯的光整加工。
二、精密加工的發(fā)展現(xiàn)狀
2.1精密成型加工的發(fā)展現(xiàn)狀與應(yīng)用
精密成型加工的發(fā)展現(xiàn)狀與應(yīng)用精密鑄造成形、精密模壓成形、塑性加工、薄板精密成形技術(shù)在工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家受到高度重視，并投入大量資金優(yōu)先發(fā)展。70年代美國(guó)空軍主持制訂“鍛造工藝現(xiàn)代化計(jì)劃”，目的是使鍛造這一重要工藝實(shí)現(xiàn)現(xiàn)代化，更多地使用CAD／CAM，使新鍛件的制造周期減少75%。1992年，美國(guó)國(guó)防部提出了“軍用關(guān)鍵技術(shù)清單”，其中包含了等壓成型工藝、數(shù)控計(jì)算機(jī)控制旋壓、塑變和剪切成形機(jī)械、超塑成型／擴(kuò)散連接工藝、液壓延伸成型工藝等精密塑性成型工藝。國(guó)外近年來(lái)還發(fā)展了以航空航天產(chǎn)品為應(yīng)用對(duì)象的“大型模鍛件的鍛造及葉片精鍛工藝”、“快速凝固粉末層壓工藝”、“大型復(fù)雜結(jié)構(gòu)件強(qiáng)力旋壓成型工藝”、“難變形材料超塑成形工藝”、“先進(jìn)材料(如金屬基復(fù)合材料、陶瓷基復(fù)合材料等)成形工藝”等。我國(guó)的超塑成形技術(shù)在航天航空及機(jī)械行業(yè)也有應(yīng)用，如航天工業(yè)中的衛(wèi)星部件、導(dǎo)彈和火箭氣瓶等，采用超塑成形法制造偵察衛(wèi)星的欽合金回收艙。與此同時(shí)，還基本上掌握了鋅、銅、鋁、欽合金的超塑成形工藝，最小成形厚度可達(dá)0．3mm，形狀也較復(fù)雜。此外，國(guó)外已廣泛應(yīng)用精密模壓成形技術(shù)制造武器。常用的精密模壓成形技術(shù)，如閉塞式鍛造、采用分流原理的精密成形及等溫成形等國(guó)外已用于軍工生產(chǎn)。目前，精密模壓技術(shù)在我國(guó)應(yīng)用還較少，精度也較差，國(guó)外精度為±0.05—0.10mm，我國(guó)為±0.1—0.25mm.
2.2.孔加工技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀及應(yīng)用
近年來(lái)，汽車、模具零部件、金屬加工大都采用以CNC機(jī)床為中心的生產(chǎn)形態(tài)，進(jìn)行孔加工時(shí)，也大都采用加工中心、CNC電加工機(jī)床等先進(jìn)設(shè)備，高速、高精度鉆削加工已提上議事日程。無(wú)論哪個(gè)領(lǐng)域的孔加工，實(shí)現(xiàn)高精度和高速化都是取得用戶訂單的重要競(jìng)爭(zhēng)手段。
近年來(lái)，隨著高速銑削的出現(xiàn)，以銑削刀具為中心的切削加工正在進(jìn)入高速高精度化的加工時(shí)期。在孔加工作業(yè)中，目前仍大量使用高速鋼麻花鉆，但各企業(yè)之間在孔加工精度和加工效率方面已逐漸拉開了差距。高速切削鉆頭的材料以陶瓷涂層硬質(zhì)合金為主，如MAZAK公司和森精機(jī)制作所在加工鑄鐵時(shí)，即采用了陶瓷涂層鉆頭。在加工鋁合金等有色材料時(shí)，可采用金剛石涂層硬質(zhì)合金鉆頭、DLC涂層硬質(zhì)合金鉆頭或帶金剛石燒結(jié)體刀齒的鉆頭。高速高精度孔加工除采用CNC切削方式對(duì)孔進(jìn)行精密加工外，還可采用鏜削和鉸削等方式對(duì)孔進(jìn)行高精度加工。隨著加工中心主軸的高速化，已可采用鏜削工具對(duì)孔進(jìn)行高速精密加工。
隨著IT相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，近年來(lái)，光學(xué)和電子工業(yè)所用裝置的零部件產(chǎn)品的需求急速增長(zhǎng)，這種增長(zhǎng)刺激了微細(xì)形狀及高精度加工技術(shù)的迅速發(fā)展。其中，微細(xì)孔加工技術(shù)的開發(fā)應(yīng)用尤其引人注目。微細(xì)孔加工早已在印刷電路板等加工中加以應(yīng)用，包括鋼材在內(nèi)的多種被加工材料，均可用鉆頭進(jìn)行小直徑加工。目前，小直徑孔加工中，利用鉆頭切削的直徑最小可至φ50μm左右。小于φ50μm的孔則多采用電加工來(lái)完成。為了抑制毛刺的產(chǎn)生，許多研究者提出可采用超聲波振動(dòng)切削的方式。目前，正在探索一種應(yīng)用范圍廣而且工藝合理的超聲波振動(dòng)切削模式，其中包括研究機(jī)床的適應(yīng)特性等內(nèi)容。隨著這些問題的順利解決，今后可望更好地實(shí)現(xiàn)直徑更小的微小深孔加工，加工精度會(huì)更高。
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三．密加工的技術(shù)應(yīng)用與發(fā)展趨勢(shì)
3.1高精度、高效率
高精度與高效率是超精密加工永恒的主題�？偟膩�(lái)說，固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度，而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性，但以犧牲加工效率為保證。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高，但無(wú)法獲得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法，成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標(biāo)。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢(shì)。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生。
3.2 工藝整合化
當(dāng)今企業(yè)間的競(jìng)爭(zhēng)趨于白熱化，高生產(chǎn)效率越來(lái)越成為企業(yè)賴以生存的條件。在這樣的背景下，出現(xiàn)了“以磨代研”甚至“以磨代拋”的呼聲。另一方面，使用一臺(tái)設(shè)備完成多種加工(如車削、鉆削、銑削、磨削、光整)的趨勢(shì)越來(lái)越明顯。
3.3化、微型化
為加工航空、航天、宇航等領(lǐng)域需要的大型光電子器件(如大型天體望遠(yuǎn)鏡上的反射鏡)，需要建立大型超精密加工設(shè)備。為加工微型電子機(jī)械、光電信息等領(lǐng)域需要的微型器件(如微型傳感器、微型驅(qū)動(dòng)元件等)，需要微型超精密加工設(shè)備(但這并不是說加工微小型工件一定需要微小型加工設(shè)備)。
3.4 在線檢測(cè)
盡管現(xiàn)在超精密加工方法多種多樣，但都尚未發(fā)展成熟。例如，雖然CMP等加工方法已成功應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)，但其加工機(jī)理尚未明確。主要原因之一是超精密加工檢測(cè)技術(shù)還不完善，特別是在線檢測(cè)技術(shù)。從實(shí)際生產(chǎn)角度講，開發(fā)加工精度在線測(cè)量技術(shù)是保證產(chǎn)品質(zhì)量和提高生產(chǎn)率的重要手段。
3.5 智能化
超精密加工中的工藝過程控制策略與控制方法也是目前的研究熱點(diǎn)之一。以智能化設(shè)備降低加工結(jié)果對(duì)人工經(jīng)驗(yàn)的依賴性一直是制造領(lǐng)域追求的目標(biāo)。加工設(shè)備的智能化程度直接關(guān)系到加工的穩(wěn)定性與加工效率，這一點(diǎn)在超精密加工中體現(xiàn)更為明顯。目前，即使是臺(tái)灣的部分半導(dǎo)體工廠，生產(chǎn)過程中關(guān)鍵的操作依然由工人在現(xiàn)場(chǎng)手工完成。
3.6 綠色化
磨料加工是超精密加工的主要手段，磨料本身的制造、磨料在加工中的消耗、加工中造成的能源及材料的消耗、以及加工中大量使用的加工液等對(duì)環(huán)境造成了極大的負(fù)擔(dān)。我國(guó)是磨料、磨具產(chǎn)量及消耗的第一大國(guó)，大幅提高磨削加工的綠色化程度已成為當(dāng)務(wù)之急發(fā)達(dá)國(guó)家以及我國(guó)的臺(tái)灣
地區(qū)均對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家的廢液、廢氣排量及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施嚴(yán)格管制，為此，各國(guó)研究人員對(duì)CMP加工產(chǎn)生的廢液、廢氣回收處理展開了研究。綠色化的超精密加工技術(shù)在降低環(huán)境負(fù)擔(dān)的同時(shí)，提高了自身的生命力。
四 精密加工技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)
4.1高效化
現(xiàn)代加工的要求為數(shù)控電火花加工技術(shù)提供了最佳的加工模式，即要求在保證加工精度的前提下大幅提高粗、精加工效率。如手機(jī)外殼、家電制品、電器用品、電子儀表等領(lǐng)域，都要求減少輔助時(shí)間(如編程時(shí)間、電極與工件定位時(shí)間等),同時(shí)又要降低粗糙度,從原來(lái)的Ra0.8μm改進(jìn)到Ra0.25μm，使放電后不必再進(jìn)行手工拋光處理。這不但縮短了加工時(shí)間且省卻后處理的麻煩，同時(shí)提升了模具品質(zhì)，使用粉末加工設(shè)備可達(dá)到要求。這就需要增強(qiáng)機(jī)床的自動(dòng)編程功能，配置電極與工件定位的夾具、裝置。若在大工件的粗加工中選用石墨電極材料也是提高加工效率的好方法。
4.2信息化
信息、物質(zhì)和能源是制造系統(tǒng)的三要素。隨著計(jì)算機(jī)、自動(dòng)化與通訊網(wǎng)絡(luò)技術(shù)紅制造系統(tǒng)中的應(yīng)用，信息的作用越來(lái)越重要。產(chǎn)品制造過程中的信息投入，己成為決定產(chǎn)品成本的主要因素。制造過程的實(shí)質(zhì)是對(duì)制造過程中各種信息資源的采集、輸入、加工和處理過程，最終形成的產(chǎn)品可看作是信息的物質(zhì)表現(xiàn)，因此可以把信息看作是一種產(chǎn)業(yè)，包括在制造之中。為此一些企業(yè)開始利用網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、計(jì)算機(jī)聯(lián)網(wǎng)、信息高速公路、衛(wèi)星傳遞數(shù)據(jù)等實(shí)現(xiàn)異地生產(chǎn)。使生產(chǎn)分散網(wǎng)絡(luò)化，以適應(yīng)21世紀(jì)高柔性生產(chǎn)的需要。
4.3 個(gè)性化
科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展和人民生活水平不斷提高，促使產(chǎn)品更新?lián)Q代的速度不斷加快，這就要求現(xiàn)代企業(yè)必須具備一定的生產(chǎn)柔性來(lái)滿足市場(chǎng)多變的需要。所謂柔性，是指一個(gè)制造系統(tǒng)適應(yīng)各種生產(chǎn)條件變化的能力，它與系統(tǒng)方案、人員和設(shè)備有關(guān)。系統(tǒng)方案的柔性是指加工不同零件的自由度。人員柔性是指操作人員能保證加工任務(wù)，完成數(shù)量和時(shí)間要求的適應(yīng)能力。設(shè)備柔性是指機(jī)床能在短期內(nèi)適應(yīng)新零件的加工能力。柔性制造自動(dòng)化的形式很多，如美國(guó)提出的敏捷制造(AM)其主線就是高柔性生產(chǎn)。上海同濟(jì)大學(xué)張曙教授提出的獨(dú)立制造島(AMI)也是高柔性生產(chǎn)模式。
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4.4 集成化
是將原來(lái)獨(dú)立運(yùn)行的多個(gè)單元系統(tǒng)集成一個(gè)能協(xié)調(diào)工作的和功能更強(qiáng)的新系統(tǒng)。集成不是簡(jiǎn)單的連接，是經(jīng)過統(tǒng)一規(guī)劃設(shè)計(jì)，分析原單元系統(tǒng)的作用和相互關(guān)系并進(jìn)行優(yōu)化重組而實(shí)現(xiàn)的。集成化的目的是實(shí)現(xiàn)制造企業(yè)的功能集成，功能集成要借助現(xiàn)代管理技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、自動(dòng)化技術(shù)和信息技術(shù)實(shí)現(xiàn)技術(shù)集成，同時(shí)還要強(qiáng)調(diào)人的集成，由于系統(tǒng)中不可能沒有人，系統(tǒng)運(yùn)行的效果與企業(yè)經(jīng)營(yíng)思想、運(yùn)行機(jī)制、管理模式都與人有關(guān)，在技術(shù)上集成的同時(shí)，還應(yīng)強(qiáng)調(diào)管理與人的集成。集成化生產(chǎn)將成為面向21世紀(jì)占主導(dǎo)的生產(chǎn)方式。
五 結(jié)束語(yǔ) 精密和超精密加工，是現(xiàn)代機(jī)械制造業(yè)最主要的發(fā)展方向之一,在提高機(jī)電產(chǎn)品的性能、質(zhì)量和發(fā)展高新技術(shù)中起著至關(guān)重要的作用，并且已成為在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中取得成功的關(guān)鍵技術(shù)。我國(guó)的制造業(yè)發(fā)展已進(jìn)入了高速發(fā)展階段，中國(guó)民營(yíng)企業(yè)已具備足夠的經(jīng)濟(jì)實(shí)力來(lái)使企業(yè)邁向現(xiàn)代化，先進(jìn)設(shè)備的引進(jìn)和大量專業(yè)人才的涌入使許多沿海地區(qū)的制造業(yè)水平迅速提高。隨著國(guó)家決策的科學(xué)化、民-主化進(jìn)程不斷深入，相信我國(guó)的制造業(yè)會(huì)更快速、更健康地發(fā)展。
超精密加工技術(shù)認(rèn)識(shí)及發(fā)展前景2017-05-16 14:22 | #2樓
超精密加工技術(shù)，是現(xiàn)代機(jī)械制造業(yè)最主要的發(fā)展方向之一。是指亞微米級(jí)和納米級(jí)精度的加工。實(shí)現(xiàn)這些加工所采取的工藝方法和技術(shù)措施，則稱為超精加工技術(shù)。加之測(cè)量技術(shù)、環(huán)境保障和材料等問題，人們把這種技術(shù)總稱為超精工程。
超精密加工主要包括三個(gè)領(lǐng)域：
超精密切削加工如金剛石刀具的超精密切削，可加工各種鏡面。它已成功地解決了用于激光核聚變系統(tǒng)和天體望遠(yuǎn)鏡的大型拋物面鏡的加工；超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盤的涂層表面加工和大規(guī)模集成電路基片的加工；超精密特種加工如大規(guī)模集成電路芯片上的圖形是用電子束、離子束刻蝕的方法加工。如用掃描隧道電子顯微鏡(STM)加工，線寬可達(dá)2～5nm。
近年來(lái)，在傳統(tǒng)加工方法中，金剛石刀具超精密切削、金剛石微粉砂輪超精密磨削、精密高速切削、精密砂帶磨削等已占有重要地位；在非傳統(tǒng)加工中，出現(xiàn)了電子束、離子束、激光束等高能加工、微波加工、超聲加工、蝕刻、電火花和電化學(xué)加工等多種方法，特別是復(fù)合加工，如磁性研磨、磁流體拋光、電解研磨、超聲珩磨等，在加工機(jī)理上均有所創(chuàng)新。
對(duì)精密和超精密加工所用的加工設(shè)備有下列要求。
(1)高精度。包括高的靜精度和動(dòng)精度，主要的性能指標(biāo)有幾何精度、定位精度和重復(fù)定位精度、分辨率等，如主軸回轉(zhuǎn)精度、導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度、分度精度等；
(2)高剛度。包括高的靜剛度和動(dòng)剛度，除本身剛度外，還應(yīng)注意接觸剛度，以及由工件、機(jī)床、刀具、夾具所組成的工藝系統(tǒng)剛度。
(3)高穩(wěn)定性。設(shè)備在經(jīng)運(yùn)輸、存儲(chǔ)以后，在規(guī)定的工作環(huán)境下使用，應(yīng)能長(zhǎng)時(shí)間保持精度、抗干擾、穩(wěn)定工作。設(shè)備應(yīng)有良好的耐磨性、抗振性等。
(4)高自動(dòng)化。為了保證加工質(zhì)量，減少人為因素影響，加工設(shè)備多采用數(shù)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
加工設(shè)備的質(zhì)量與基礎(chǔ)元部件，如主軸系統(tǒng)、導(dǎo)軌、直線運(yùn)
動(dòng)單元和分度轉(zhuǎn)臺(tái)等密切相關(guān)，應(yīng)注意這些元部件質(zhì)量。此外，夾具、輔具等也要求有相應(yīng)的高精度、高剛度和高穩(wěn)定性。
航天、航空工業(yè)中，人造衛(wèi)星、航天飛機(jī)、民用客機(jī)等制造中都有大量的精密和超精密加工的需求，如人造衛(wèi)星用的姿態(tài)軸承和遙測(cè)部件對(duì)觀測(cè)性能影響很大。該軸承為真空無(wú)潤(rùn)滑軸承，其孔和軸的表面粗糙度要求為Ry0.01μm，即1nm，其圓度和圓柱度均要求納米級(jí)精度。被送入太空的哈勃望遠(yuǎn)鏡(HST)，可攝取億萬(wàn)千米遠(yuǎn)的星球的圖像，為了加工該望遠(yuǎn)鏡中直徑為
2.4m、重達(dá)900kg的大型反光鏡，專門研制了一臺(tái)形狀精度為0.01μm的加工光學(xué)玻璃的六軸CNC研磨拋光機(jī)。據(jù)英國(guó)Rolls-Royce公司報(bào)道，若將飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)子葉片的加工度，由60μm提高到12μm、表面粗糙度由Ra0.5μm減少到0.2μm，發(fā)動(dòng)機(jī)的加速效率將從89%提高到94%；齒輪的齒形和齒距誤差若能從目前的3～6μm，降低到1μm，則其單位重量所能傳遞的扭距可提高近1倍。當(dāng)前，微型衛(wèi)星、微型飛機(jī)、超大規(guī)模集成電路的發(fā)展十分迅猛，涉及微細(xì)加工技術(shù)、納米加工技術(shù)和微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)等已形成微型機(jī)械制造。這些技術(shù)都在精密和超精密加工范疇內(nèi)，與計(jì)算機(jī)工業(yè)、國(guó)防工業(yè)的發(fā)展直接相關(guān)。
超精密加工應(yīng)用廣泛，也是現(xiàn)代機(jī)械制造業(yè)最主要的發(fā)展方向之一,在提高機(jī)電產(chǎn)品的性能、質(zhì)量和發(fā)展高新技術(shù)中起著至關(guān)重要的作用，很長(zhǎng)一段時(shí)期內(nèi)，其會(huì)在現(xiàn)代各種技術(shù)以及理論的指導(dǎo)下得到更好更快的發(fā)展，其主要發(fā)展前景主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
1、高精度、高效率。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，對(duì)精度、效率、質(zhì)量的要求越來(lái)越高，高精度和高效率成為超精密加工新的主題。
2、大型化、微型化。由于航天航空技術(shù)的發(fā)展，大型光電子器件要求大型超精密加工設(shè)備，同時(shí)隨著微型機(jī)械電子、光電信息等領(lǐng)域的發(fā)展，超精密加工技術(shù)也向微型化發(fā)展，如微型傳感器，微型驅(qū)動(dòng)元件和動(dòng)力裝置等都需要微型超精密加工設(shè)備。
3、智能化。以智能化設(shè)備降低加工結(jié)果對(duì)人工經(jīng)驗(yàn)的依賴
一直是制造領(lǐng)域追求的目標(biāo)，加工設(shè)備的智能化程度直接關(guān)系加工的穩(wěn)定性與加工效率，這一點(diǎn)在超精密加工中體現(xiàn)的更為明顯。
4、工藝整合化。當(dāng)今企業(yè)間的競(jìng)爭(zhēng)趨于白熱化，高生產(chǎn)效率越來(lái)越成為企業(yè)賴以生存的條件，這樣的背景下，出現(xiàn)了“以磨代研”甚至“以磨代拋”的呼聲，另一方面，使用一臺(tái)設(shè)備完成多種加工的趨勢(shì)越來(lái)越明顯。
5、在線加工檢測(cè)一體化。由于超精密加工的精度很高，必須發(fā)展在線加工檢測(cè)一體化技術(shù)才能保證產(chǎn)品質(zhì)量和提高生產(chǎn)率，同時(shí)由于加工機(jī)械本身的精度有時(shí)很難滿足要求，采用在線檢測(cè)、工況監(jiān)控和誤差補(bǔ)償?shù)姆椒ǹ梢蕴岣呔�，保證加工質(zhì)量的要求。
6、綠色化。磨料加工是超精密加工的主要手段，磨料本身的制造，磨料在加工中的消耗，加工中造成的能源及材料的消耗，以及加工中大量使用的價(jià)格液等對(duì)環(huán)境造成了極大的負(fù)擔(dān)。我國(guó)是磨料、磨具產(chǎn)量及消耗的第一大國(guó)，大幅提高磨削加工的綠色化程度已經(jīng)成為當(dāng)務(wù)之急，發(fā)達(dá)國(guó)家以及我國(guó)臺(tái)灣地區(qū)均對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家的廢液廢氣排量以及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施嚴(yán)格管制，為此我們也需要在這方面下大功夫，綠色化的超精密加工技術(shù)在降低環(huán)境負(fù)擔(dān)的同時(shí)也提高了自身的生命力。
總之，精密和超精密加工是現(xiàn)代機(jī)械制造業(yè)最主要的發(fā)展方向之一，在提高機(jī)電產(chǎn)品的性能、質(zhì)量和發(fā)展高新技術(shù)中起著至關(guān)重要的作用，并且已成為在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中取得成功的關(guān)鍵技術(shù)，我國(guó)的制造業(yè)發(fā)展已經(jīng)進(jìn)入高速發(fā)展階段，中國(guó)民營(yíng)企業(yè)已經(jīng)具備足夠的經(jīng)濟(jì)實(shí)力來(lái)使企業(yè)邁向現(xiàn)代化，先進(jìn)設(shè)備的引進(jìn)和大量專業(yè)人才的涌入使許多沿海地區(qū)的制造業(yè)水平迅速提高。隨著國(guó)家決策的科學(xué)化、民-主化進(jìn)程不斷深入，相信我國(guó)的制造業(yè)會(huì)更快速、更健康發(fā)展。
【超精密加工技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢(shì)】相關(guān)文章：
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